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一种单基片上低损耗四级对称光学波导环制造技术
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下载一种单基片上低损耗四级对称光学波导环的技术资料
文档序号:37055376
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本发明公开了一种单基片上低损耗四级对称光学波导环,包括si基层和设置于所述si基层上的多层波导层,每层所述波导层外均设置有SiO2包层,所述波导层的折射率大于所述SiO2包层的折射率;每层所述波导层上均设置有多圈波导环,相邻圈次之间经层内波...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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