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发明公开了用于半导体制造设备的废气处理仿真模型构建方法及装置，方法包括如下步骤：确定半导体制造设备组，建立半导体制造设备组的数据库；搭建离散制造模块，离散制造模块采集并响应半导体目标制造工艺，包括与半导体目标制造工艺对应的逻辑单元及策略单元...
该专利属于中国电子工程设计院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子工程设计院有限公司授权不得商用。

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