温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种溶液法生长碳化硅单晶的设备，包括坩埚、动力轴、碳源仓、循环管路和抽液装置；坩埚内壁涂有碳化坦涂层，并限定出生长腔和溶液腔；动力轴上端位于坩埚顶壁外侧，底端穿过坩埚位于生长腔，并安装有籽晶托；碳源仓安装在溶液腔内，碳源仓顶...
该专利属于江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。