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本实用新型公开一种LDI光学引擎和无掩膜光刻系统，LDI光学引擎包括匀光棒、光源和DMD模块，光源的出光端与匀光棒的入射端对应设置；DMD模块与自从匀光棒的出射端投射至DMD模块的入射光线呈夹角设置；匀光棒设置为四棱柱，四棱柱的截面为非矩形...
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