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本发明提供一种湿式晶圆处理装置，置放至少一晶圆，该湿式晶圆处理装置包含一固定座以及一晶圆卡匣。固定座包含相互间隔的一对卡榫构件。晶圆卡匣包含对应该对卡榫构件组装的一对旋转压杆，每一旋转压杆末端包含一楔形件，楔形件受各卡榫构件的一导引面导引，...
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