下载一种CMP材料表面涂抹装置的技术资料

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本实用新型涉及CMP材料涂抹凝固技术领域,尤其涉及一种CMP材料表面涂抹装置,包括凝固槽和涂布机,凝固槽输入端安装有传送锟,传送锟用于输送基布,涂布机用于在基布表面涂抹聚氨酯,传送锟后方通过螺栓安装有涂抹机构,涂抹机构机构包括安装架、刮板、...
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