温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于低氮高纯碳化硅粉料合成的坩埚，涉及碳化硅合成技术领域；具体是包括大坩埚和布置在大坩埚内的多个小坩埚，大坩埚的坩埚盖设置有多个第一贯穿孔道，所述大坩埚的坩埚壁上设置有多个第二贯穿孔道，多个小坩埚彼此相间隔，小坩埚的外周...
该专利属于山西烁科晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西烁科晶体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。