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一种用于半导体晶片制备的旋转平台制造技术
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下载一种用于半导体晶片制备的旋转平台的技术资料
文档序号:37030793
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本实用新型提供了一种用于半导体晶片制备的旋转平台,包括底台、转盘、加工台、输入传送带与输出传送带;所述底台设有相连通的转槽与动力仓,所述转盘下端面安装有驱动轴,所述动力仓内安装有电机,所述电机输出端安装有转轴,所述转轴安装有齿轮,所述驱动轴...
该专利属于无锡晶名光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡晶名光电科技有限公司授权不得商用。
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