下载沟槽型MOSFET晶体管的技术资料

文档序号:37030010

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本申请公开了一种沟槽型MOSFET晶体管,涉及半导体器件技术领域。该沟槽型MOSFET晶体管包括:第一掺杂类型的衬底,衬底包括第一表面,第一表面上设置有第一掺杂类型的外延层;设置在外延层内的第二掺杂类型的阱区;设置在阱区内的栅极沟槽结构;栅...
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