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本实用新型公开了一种TSV电镀抽真空机构，包括真空槽、分液辅槽、液位计、真空泵和超声波发生器；真空槽连接进水管和排水管；所述的进水管和排水管上分别设置进水阀和排水阀；真空槽内设置超声波发生器；所述的真空槽通过溢流管与所述的分液辅槽连接；所述...
该专利属于江苏矽智半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏矽智半导体科技有限公司授权不得商用。

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