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本实用新型公开了半导体划片机用磁流体密封装置，包括壳体，所述壳体两端均设有端盖，所述端盖中部插接有轴杆，所述壳体内一侧设有真空轴承，所述壳体内远离真空轴承一侧设有大气轴承，所述壳体内位于真空轴承与大气轴承之间设有两个对称的极楔，两个所述极楔...
该专利属于华远臻达磁性流体科技（固安）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华远臻达磁性流体科技（固安）有限公司授权不得商用。

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