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本实用新型公开了三维沟槽硅电极探测器，由数个探测单元拼接而成，探测单元包括二氧化硅保护层，二氧化硅保护层上设有外围电极，二氧化硅保护层上和外围电极内设置有硅基体和中心电极，所述硅基体包括基体部分和嵌套部分，嵌套部分内嵌在外围电极内且位于基体...
该专利属于黄淮学院所有，仅供学习研究参考，未经过黄淮学院授权不得商用。

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