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本实用新型公开一种新型磁控溅射镀膜载具，真空舱、舱门，所述舱门对真空舱进行密封，其特征在于：所述舱门上安装有上底座与下底座，所述舱门处设有设有分别穿入上底座与下底座内部的靶材，所述下底座端部安装有靶材驱动旋转的驱动机构。本申请将舱门与真空舱...
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