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本实用新型公开了一种用于下部电极模组密封性检测的装置包括：基板，至少具有一个检测区，在所述检测区内形成有供气体流通的沟槽；氦气孔，贯穿开设在所述基板上且不位于所述沟槽内；导气组件，安装在所述基板的背部，所述导气组件用于将所述沟槽和检测装置连...
该专利属于苏州众芯联电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州众芯联电子材料有限公司授权不得商用。

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