【技术实现步骤摘要】
一种用于下部电极模组密封性检测的装置
[0001]本技术涉及下部电极
,具体涉及一种用于下部电极模组密封性检测的装置。
技术介绍
[0002]用于面板加工中固定玻璃基板的下部电极,在使用一段时间后需要拆下,发往专门的电极加工厂进行表面涂层的修复或再生处理。
[0003]下部电极模组的主体由下部电极本体及与之相匹配的一块下板组成,下板与下部电极的组装需要使用上百枚穿过下板的螺丝,为达到密封性要求,每一个穿过下板的孔都有与之匹配的密封圈进行密封,这些数量众多的密封圈中,即使只有一个因为局部破损或夹入异物而导致密封不良,也会导致整个下部电极模组的密封能力无法满足使用要求。
[0004]然而,电极加工厂多不具备对下部电极模组密封性检测的设备,如果密封性不良的电极运送至面板厂进行安装运行后才发现无法正常使用,则需要拆下发回电极加工厂重新进行组装,这一过程会浪费面板厂和电极加工厂大量的时间,造成巨额经济损失。
技术实现思路
[0005]为克服上述缺点,本技术的目的在于提供一种用于下部电极模组密封性检测的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于下部电极模组密封性检测的装置,其特征在于,包括:基板,至少具有一个检测区,在所述检测区内形成有供气体流通的沟槽;氦气孔,贯穿开设在所述基板上且不位于所述沟槽内;导气组件,安装在所述基板的背部,所述导气组件用于将所述沟槽和检测装置连接,并可选择地将所述沟槽内部的气体输送至检测装置。2.根据权利要求1所述的一种用于下部电极模组密封性检测的装置,其特征在于:所述导气组件包括:导气孔,贯穿开设在所述基板上并位于所述沟槽内;阀门,其一端安装在所述导气孔内,另一端通过连通器连接检测装置。3.根据权利要求1所述的一种用于下部电极模组密封性检测的装置,其特征在于:还包括用于将所述下部电极模组和所述基板连接的连接机构,所述连接机构设置在所述基板上。4.根据权利要求3所述的一种用于下部电极模组密封性检测的装置,其特征在于:所述连接机构包括:第一安装孔,贯穿开设在所述基板背部,所述第一安装孔内安装有用于将所述基板和下部电极模组连接的螺钉;第二安装孔,开设在所述基板背部并...
【专利技术属性】
技术研发人员:洪远周,陈赟,
申请(专利权)人:苏州众芯联电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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