下载一种双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备的技术资料

文档序号:37006345

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本实用新型公开了一种双工位全自动晶片表面缺陷视觉检测设备,包括:相互平行设置的两条用于传输料盘的传送流水线,沿料盘传送方向依次设置的上料单元、测高机构、视觉检测机构、激光标定机构、人工干预单元以及收料单元;上料单元及收料单元与所述传送流水线...
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