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本实用新型公开了一种大功率晶圆测试装置，包括测试腔体、测试模块、第一气泵和第二气泵；测试腔体用于放置晶圆，且分别开设有惰性气体入口和惰性气体出口；第一气泵的一端用于接入惰性气体，另一端与测试腔体的惰性气体入口连接；第二气泵的一端与测试腔体的...
该专利属于湖北九峰山实验室所有，仅供学习研究参考，未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。

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