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本实用新型公开了一种光刻胶的回收装置，包括：控制模块，分别与控制模块电连接的匀胶模块、收集模块、过滤模块、储存模块、回收利用模块和多个阀门，以及第一进气管道；收集模块通过第一阀门与过滤模块连通，过滤模块通过第二阀门与储存模块连通，回收利用模...
该专利属于广东中图半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东中图半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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