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本发明提供的系统和方法使得能够在宽的温度范围如０℃－３５０℃的温度曲线上迅速地轮转工件而无需在分离的烘烤和冷却机构之间举递工件。本发明部分基于在烘烤和冷却操作期间利用低热容的导热加热元件（２０）支撑工件，例如微电子器件，这一原理。把工件支撑...
该专利属于FSI国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过FSI国际公司授权不得商用。

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