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有机发光显示器的制作装置及其使用方法制造方法及图纸
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文档序号:3698436
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本发明提供用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置以及采用这种装置的真空蒸镀方法。利用同时具有电磁铁和永磁铁的荫罩板安放工作台,在排列时可以使玻璃基片和荫罩板平行配置,使用3轴位置移动装置可在荫罩板安放工作台上正确排列,排列后利用包括永磁铁的荫...
该专利属于高级网络服务公司所有,仅供学习研究参考,未经过高级网络服务公司授权不得商用。
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