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本发明的目的是提供热均匀性和耐热冲击性方面优越的一种陶瓷衬底，而且在把陶瓷衬底制造成静电夹具的情况中，具有大的夹持力。本发明的陶瓷衬底是一种陶瓷衬底，它包括形成在其中的导体层，其特征在于，导体层的边缘部分是尖峰形状的。...
该专利属于IBIDEN股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过IBIDEN股份有限公司授权不得商用。

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