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本发明的目的在于提供可以减少制造成本的掩膜形成方法。一种为了采用液状的图案材料形成所需的图案，在被处理部件的表面形成掩膜的方法，其构成为具有：对整个被处理部件表面涂布抗蚀剂的第１工序（Ｓ１５２）、干燥已涂布的抗蚀剂的第２工序（Ｓ１５４）、通...
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