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本实用新型提供一种低压化学气相沉淀工艺设备的进气喷管装置，真空腔门上安装有悬臂桨，悬臂桨上放置有石英舟，真空腔门通过第一密封圈与进气法兰密封，进气法兰通过标准件与进气水套法兰连接，在进气法兰和进气水套法兰左端设置有石英反应腔，石英反应腔另外...
该专利属于青岛华旗科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛华旗科技有限公司授权不得商用。

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