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为了以简单且经济的方法进行以高温计为基础的、对低温也能够实现的精确温度测量，本发明提供了一种装置和一种方法用于对衬底进行热处理，其中，衬底通过至少一个第一辐射源和至少一个第二辐射源被照射，在第一辐射源与衬底之间的第一辐射的给定波长被吸收，一...
该专利属于马特森热力产品有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过马特森热力产品有限责任公司授权不得商用。

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