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本实用新型提供一种晶圆片检测仪。晶圆片检测仪，在旋转平台上由中心向外均匀设置有多条腰形槽，多条腰形槽中分别设置有可在腰形槽中滑动的承靠块，旋转平台设置在旋转滑台上，旋转滑台设置在角度倾斜滑台上，角度倾斜滑台设置在基座上；显微镜通过定位螺栓设...
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