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本实用新型公开了一种定量测试多晶硅含水量的系统，该系统包括：容纳多晶硅的密封装置，密封装置设有进气口和出气口；加热装置，加热装置的一端通过第一管路与进气口相连，加热装置包括加热单元和温度监测单元；水分测试仪，水分测试仪的一端通过第二管路与出...
该专利属于江苏鑫华半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鑫华半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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