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制作电光器件的方法技术
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文档序号:3695958
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本发明的目的在于提供一种用于制作电光器件的方法,包括:在一个绝缘表面上形成具有多栅极结构的开关薄膜晶体管;在所述开关薄膜晶体管上形成一个钝化膜;在所述钝化膜上形成一个阳极,所述阳极电连接到所述开关薄膜晶体管;通过喷墨法在所述阳极上形成一个E...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。
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