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一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法技术
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下载一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法的技术资料
文档序号:36957775
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本申请涉及一种离子束溅射镀膜用镀膜机、遮挡板及均匀性修正方法,涉及镀膜的技术领域;离子束溅射镀膜用镀膜机包括工件盘,用于固定基片;遮挡板,位于工件盘下方,用于遮挡部分由沉积系统轰击靶材系统产生的薄膜材料;定位底座,用于安装遮挡板;调节件,与...
该专利属于青岛镭视光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛镭视光电科技有限公司授权不得商用。
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