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本公开涉及一种用于沉积薄膜的方法和设备以及薄膜。根据本公开的一实施例，一种用于沉积薄膜的方法包含将基板提供至反应腔室中，所述反应腔室包含一或多个第一化学反应物出口，以及空间上独立于所述一或多个第一化学反应物出口的一或多个第二化学反应物出口；...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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