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本实用新型涉及一种利用射频等离子体制备高纯金属靶坯的装置，包括熔炼炉，射频等离子炬体，送料单元，结晶器，真空泵。熔炼炉与射频等离子炬体相连。熔炼炉侧面安装所述送料单元。熔炼炉底部安装所述结晶器。真空泵连接所述熔炼炉，保持所述熔炼炉内压力恒定...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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