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本发明公开了一种MEMS光栅调制器及制备工艺。MEMS光栅调制器主要由栅条层、键合层，绝缘层和基底层组成，所述栅条层的固定栅条和可移动栅条排布方式有两种：其一为沿栅条周期方向交错排布，其二为沿栅条长度和宽度方向交错排布。可移动栅条由周期排列...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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