温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型属于材料生长和提纯技术领域,公开了一种加热体,包括:碳化硅圆柱,所述碳化硅圆柱结构相同,所述碳化硅圆柱基于电热管加热;隔热圆筒,所述隔热圆筒设在相邻的碳化硅圆柱之间;隔热反射组件,所述隔热反射组件包覆在所述碳化硅圆柱和所述隔热圆筒...该专利属于苏州窄带半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州窄带半导体科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型属于材料生长和提纯技术领域,公开了一种加热体,包括:碳化硅圆柱,所述碳化硅圆柱结构相同,所述碳化硅圆柱基于电热管加热;隔热圆筒,所述隔热圆筒设在相邻的碳化硅圆柱之间;隔热反射组件,所述隔热反射组件包覆在所述碳化硅圆柱和所述隔热圆筒...