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外观检查装置以及外观检查方法制造方法及图纸
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文档序号:36938422
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本发明提供一种能够实现检查精度的提高的外观检查装置以及外观检查方法。外观检查装置(1)包括:第一拍摄部(C1),构成为能够从安装有电子零件(PT)的工件表面(Wa)侧拍摄工件(W);以及第二拍摄部(C2),构成为能够从与工件表面(Wa)为相...
该专利属于山田尖端科技株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过山田尖端科技株式会社授权不得商用。
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