下载一种晶圆清洗装置的技术资料

文档序号:36937986

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本实用新型公开了一种晶圆清洗装置,其包括:壳体;支撑部,设置于壳体中并竖直支撑晶圆;清洗刷,水平设置于壳体中并能够绕轴线转动,以对晶圆进行刷洗;喷杆,设置于壳体中且其上配置有多个喷嘴和/或喷孔,以朝向晶圆表面供给清洗液;所述喷杆的喷嘴和/或...
该专利属于华海清科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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