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大相位梯度微型透镜检测系统及检测方法技术方案
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文档序号:36929002
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本发明涉及一种大相位梯度微型透镜检测系统,包括:供样品设置的样品光路;用以与该样品光路形成干涉的参考光路;用于获取该样品光路的第一光束与该参考光路的第二光束的干涉图案并对该干涉图案进行傅里叶变换形成频谱空间分布图的探测器;设在该参考光路上并...
该专利属于上海复享光学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海复享光学股份有限公司授权不得商用。
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