【技术实现步骤摘要】
大相位梯度微型透镜检测系统及检测方法
[0001]本专利技术涉及光学元件检测
，特别涉及一种大相位梯度微型透镜检测系统及检测方法。
技术介绍
[0002]当今，应用于智能汽车、智能手机和便携显示设备的技术正在以非常快的速度变化和发展，人们希望将更多更好的功能挤入越来越小的空间。尽管如此，在光学模组领域，传统的基于几何光学的设计方案面临诸多限制，难以进一步实现技术的突破和应用。随着微纳光子学的发展，利用亚波长的结构单元来对光波进行调控和操纵成为可能，将结构单元进行有效的排布可以将多种复杂的光学功能集成在同一平面，最具代表性的是超构表面(Metasurface)，其中起到透镜功能的超构表面叫做超构透镜(Metalens)。由于超构透镜基于底层设计，实现了更高的光场调控自由度，相对于传统光学透镜，它具有轻薄化(几百纳米
‑
几微米)，小型化(直径几十微米)，和集成化等优势，在光通信、安防、智能驾驶、消费电子、医疗、科学仪器、传感等领域具有潜在应用价值。
[0003]自2016年超构透镜的概念提出以来，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大相位梯度微型透镜检测系统，其特征在于，包括：供样品设置的样品光路；用以与所述样品光路形成干涉的参考光路；用于获取所述样品光路的第一光束与所述参考光路的第二光束的干涉图案并对所述干涉图案进行傅里叶变换形成频谱空间分布图的探测器；设在所述参考光路上并用于调制所述第二光束的波前调制组件，使得所述频谱空间分布图完全在所述探测器的额定频谱空间范围内。2.如权利要求1所述的大相位梯度微型透镜检测系统，其特征在于：所述样品光路包括依次设置的第一物镜、第一透镜和第二分束器；所述参考光路包括依次设置的所述波前调制组件和第二反射镜，所述第二反射镜对应于所述第一分束器设置，使得所述第二光束经所述第二反射镜反射入所述第二分束器与第一光束合成一束并发生干涉；所述探测器沿所述样品光路设置于所述第二分束器之后，所述样品光路上位于所述第一物镜前预留有供所述样品设置的区域。3.如权利要求1所述的大相位梯度微型透镜检测系统，其特征在于，所述波前调制组件包括多个光学元件，通过选择适配的至少两个光学元件并调整至少两个所述光学元件之间的距离来调制所述第二光束，使所述第二光束的波前与经所述样品的第一光束的波前类型相同。4.如权利要求3所述的大相位梯度微型透镜检测系统，其特征在于，所述样品为大数值孔径微型透镜，所述波前调制组件包括两个调节透镜，两个所述调节透镜之间的距离满足两个所述调节透镜的非共焦设置。5.如权利要求3所述的大相位梯度微型透镜检测系统，其特征在于，所述样品为大数值孔径涡旋透镜，所述波前调制组件包括两个调节透镜和涡旋波片，两个所述调节透镜之间的距离满足两个所述调节透镜为非共焦设置，所述涡旋波片设置在两个所述调节透镜之间或一个所述调节透镜的相对外侧。6.如权利要求1所述的大相位梯度微型透镜检测系统，其特征在于，还包括：单色光源；设于所述单色光源的出光口的扩束器和第一分束器，所述第一分束器将所述单色光源的光束分为所述第一光束和所述第二光束，所述参考光路还包括对应所述第二光束设置的第一反射镜，所述第二光束经所述第一反射镜反射后射入所述波前调制组件。7.一...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵茂雄，陈劭虎，卢国鹏，隆军，贺晓龙，胡松婷，殷海玮，石磊，
申请(专利权)人：上海复享光学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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