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一种用于附有湿膜的产品的曝光装置制造方法及图纸
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下载一种用于附有湿膜的产品的曝光装置的技术资料
文档序号:36928778
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本实用新型的一种用于附有湿膜的产品的曝光装置,属于光伏曝光技术领域。该装置包括曝光工位以及氧气隔离机构,所述曝光工位包括平行光光源以及掩模版,所述平行光光源设置在掩模版上方;所述氧气隔离机构设置在掩模版的下方,所述氧气隔离机构包括气管以及喷...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。
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