下载一种等静压石墨坩埚的涂层成型方法的技术资料

文档序号:36928210

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本发明公开了一种等静压石墨坩埚的涂层成型方法,其以等静压石墨坩埚作为石墨坩埚基体进行涂层成型,成型时先利用SiC粉、Y2O3、酚醛树脂溶于无水乙醇制成均匀的SiC
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