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本文描述了一种用于确定掩模图案的辅助特征将印制于衬底上的可能性的方法。所述方法包括：获得(i)被印制于衬底上的图案的多个图像，和(ii)方差数据、所述图案的所述多个图像；基于所述方差数据来确定被配置成产生与所述掩模图案相关联的方差数据的模型...
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