下载用于铜或铜合金的表面处理的化学研磨液和表面处理方法的技术资料

文档序号:36922626

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本发明涉及一种用于适当地去除存在于铜或铜合金的表面的自然氧化膜、有机物的处理液。本发明提供一种化学研磨液,其为用于铜或铜合金的表面处理的化学研磨液,其包含:(A)以前述化学研磨液的总量基准计为0.1~3.5质量%的过氧化氢;(B)以前述化学...
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