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薄膜传感器及其制备方法技术
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文档序号:36922230
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一种薄膜传感器及其制备方法,属于传感器技术领域。薄膜传感器包括:衬底基板(10);第一导电网格(20),设置在衬底基板(10)上;第一导电网格(20)包括沿第一方向并排设置且沿第二方向延伸的多条第一金属线(21),以及沿第一方向并排设置且沿...
该专利属于合肥鑫晟光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。
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