薄膜传感器及其制备方法技术

一种薄膜传感器及其制备方法，属于传感器技术领域。薄膜传感器包括：衬底基板(10)；第一导电网格(20)，设置在衬底基板(10)上；第一导电网格(20)包括沿第一方向并排设置且沿第二方向延伸的多条第一金属线(21)，以及沿第一方向并排设置且沿第三方向延伸的多条第二金属线(22)；多条第一金属线(21)和多条第二金属线(22)交叉设置；第二导电网格(30)，设置在第一导电网格(20)背离衬底基板(10)的一侧；第二导电网格(30)包括沿第一方向并排设置且沿第二方向延伸的多条第一透明导电线(31)，以及沿第一方向并排设置且沿第三方向延伸的多条第二透明导电线(32)；多条第一透明导电线(31)和多条第二透明导电线(32)交叉设置。条第二透明导电线(32)交叉设置。条第二透明导电线(32)交叉设置。条第二透明导电线(32)交叉设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐文结，於飞飞，谢晓冬，王静，钟腾飞，桑华煜，赵雪，庞斌，张新秀，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：