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本文的各种实施例涉及用于晶片状态检测的设备和方法。在一些实施例中，提供一种用于晶片状态检测的设备，所述设备包括：RF阻塞滤波器；DC阻塞滤波器；以及控制器，所述控制器经由所述RF阻塞滤波器和所述DC阻塞滤波器耦合到与静电卡盘(ESC)相关联...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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