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本发明涉及一种晶体生长装置,包括:炉体;坩埚,用于容纳硅熔液;加热器结构,围设于坩埚的外围,以对坩埚进行加热;保温层,设置于加热器结构的外围;导流筒,呈桶状并沿竖直方向设置在炉体内的硅熔液的上方;导流筒升降结构,设置于炉体的顶部,用于控制导...该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种晶体生长装置,包括:炉体;坩埚,用于容纳硅熔液;加热器结构,围设于坩埚的外围,以对坩埚进行加热;保温层,设置于加热器结构的外围;导流筒,呈桶状并沿竖直方向设置在炉体内的硅熔液的上方;导流筒升降结构,设置于炉体的顶部,用于控制导...