下载晶体生长装置和确定引晶埚位的方法的技术资料

文档序号:36909493

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种晶体生长装置,包括:炉体;坩埚,用于容纳硅熔液;加热器结构,围设于坩埚的外围,以对坩埚进行加热;保温层,设置于加热器结构的外围;导流筒,呈桶状并沿竖直方向设置在炉体内的硅熔液的上方;导流筒升降结构,设置于炉体的顶部,用于控制导...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。