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本实用新型涉及太阳能电池生产领域，一种PECVD炉管进气结构，PECVD炉管的炉门端口部内侧有半环形的进气管，进气管顺序通过连接管、衔接管、8字混气管连接连接母管，母管通过第一阀门连接第一气源管，母管通过第二阀门连接第二气源管，母管通过第三...
该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。

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