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本发明提供了一种用于培育金刚石的可调模式转换器及MPCVD设备,包括矩形波导、模式转换器可调组件、矩形波导法兰、微波天线和上腔体,矩形波导连接模式转换器可调组件,矩形波导法兰连接矩形波导,上腔体固定连接矩形波导法兰,微波天线的一端和模式转换...该专利属于深圳优普莱等离子体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳优普莱等离子体技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种用于培育金刚石的可调模式转换器及MPCVD设备,包括矩形波导、模式转换器可调组件、矩形波导法兰、微波天线和上腔体,矩形波导连接模式转换器可调组件,矩形波导法兰连接矩形波导,上腔体固定连接矩形波导法兰,微波天线的一端和模式转换...