一种用于培育金刚石的可调模式转换器及MPCVD设备制造技术

本发明专利技术提供了一种用于培育金刚石的可调模式转换器及MPCVD设备，包括矩形波导、模式转换器可调组件、矩形波导法兰、微波天线和上腔体，矩形波导连接模式转换器可调组件，矩形波导法兰连接矩形波导，上腔体固定连接矩形波导法兰，微波天线的一端和模式转换器可调组件连接，另一端穿设于矩形波导法兰和矩形波导。本发明专利技术可以通过调节模式转换器可调组件的高度，形成新的边界条件，一方面，衰减过滤掉杂项TE

【技术实现步骤摘要】
一种用于培育金刚石的可调模式转换器及MPCVD设备


[0001]本专利技术属于培育金刚石
，具体涉及一种用于培育金刚石的可调模式转换器及包括该用于培育金刚石的可调模式转换器的MPCVD设备。

技术介绍

[0002]本部分提供的仅仅是与本申请相关的背景信息，其并不必然是现有技术。
[0003]金刚石是一种由碳元素组成的矿物，是石墨的同素异形体，化学式为C，也是常见的钻石的原身。金刚石是自然界中天然存在的最坚硬的物质。金刚石的用途非常广泛，例如：工艺品、工业中的切割工具，也是一种贵重宝石。近年来，由于金刚石拥有宽带隙、高击穿电场、高载流子迁移率及高热导率的特点，因而成为继碳化硅、氮化镓之后具有代表性的新一代半导体材料，此外金刚石还广泛用于取代天然钻石的首饰领域。
[0004]MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)设备由于它的微波能量没有污染，反应气体原料相对纯净，并且没有催化剂和杂质的掺入等一些压倒性的优势，因此MPCVD方法成为培育金刚石方法中很有发展前景的技术。其工作原理是通过微波源产生微波，经过波导和模式转换器耦合后进入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于培育金刚石的可调模式转换器，其特征在于：包括矩形波导、模式转换器可调组件、矩形波导法兰、微波天线和上腔体，所述矩形波导连接所述模式转换器可调组件，所述矩形波导法兰连接所述矩形波导，所述上腔体固定连接所述矩形波导法兰，所述微波天线的一端和所述模式转换器可调组件连接，另一端穿设于所述矩形波导法兰和所述矩形波导。2.根据权利要求1所述的用于培育金刚石的可调模式转换器，其特征在于：所述模式转换器可调组件包括第一部分、第二部分和可调螺栓，所述第一部分连接所述矩形波导，所述第二部分可调节套接于所述第一部分，和/或，所述第一部分可调节套接于所述第二部分，所述第一部分和/或所述第二部分设有和所述可调螺栓配合的螺孔。3.根据权利要求1所述的用于培育金刚石的可调模式转换器，其特征在于：所述模式转换器可调组件包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分之间螺纹相连。4.根据权利要求2至3任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾亚骏，蒋礼，全峰，
申请(专利权)人：深圳优普莱等离子体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：