下载半导体光源装置和电子光源设备的技术资料

文档序号:36906195

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本公开提供了一种半导体光源装置和电子光源设备。其中,该半导体光源装置包括出射部、转换部和扩散部。出射部用于出射激光光束形成光路;转换部沿光路设置在出射部前方,用于对部分的出射激光光束进行激发转换,形成转换光;扩散部沿光路设置在转换部前方,用...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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