下载芯片硅通孔封装结构的制作方法及封装结构的技术资料

文档序号:36903670

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本发明公开了一种芯片硅通孔封装结构的制作方法及封装结构,制作方法包括:提供芯片,芯片具有相对设置的第一表面和第二表面,第一表面上设置有焊垫;在芯片的第二表面形成通孔,通孔暴露出焊垫;在通孔的底壁、侧壁以及芯片的第二表面上形成绝缘层;在绝缘层...
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