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本发明提供基板磨削装置和基板磨削方法。基板磨削装置具备工作台、第一磨削砂轮和第二磨削砂轮，所述工作台构成为以吸附保持基板的状态旋转，所述第一磨削砂轮和所述第二磨削砂轮是杯型的砂轮，设置在能够与旋转的所述基板同时接触的位置，并且构成为分别一边...
该专利属于株式会社冈本工作机械制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社冈本工作机械制作所授权不得商用。

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